En este trabajo se presenta la caracterización microestructural mediante espectroscopia Raman de películas de ZnO intrínseco, dopado con aluminio y co- dopado con aluminio y nitrógeno. Las películas se depositaron usando la técnica de erosión catódica sobre substratos de silicio y vidrio a diferentes temperaturas, variando la concentración de aluminio y la velocidad de flujo de nitrógeno. El análisis de las señales Raman permitió identificar los modos vibracionales del enlace entre el zinc y el oxígeno, y de esta manera diferenciarlos de los modos vibracionales provenientes de la sustitución de zinc por aluminio como resultado de la incorporación de este último (AlZn) y de los producidos por el desplazamiento de los átomos de oxígeno por los de nitrógeno, debido a la difusión de este gas sobre la superficie de las películas (NO). Asimismo, se identificaron otras señales Raman atribuidas a defectos cristalinos debidos a la presencia de Zinc intersticial (Zni).