En la actualidad los sistemas conocidos como microanalizadores de gases (MAG) gracias a su portabilidad y bajo consumo energético son fabricados para la industria militar y aeroespacial con base en la necesidad de detección e identificación oportuna de agentes químicos y biológicos. Un componente clave que permite el desarrollo de dicho proceso es la microbomba de vacío, responsable de encaminar el gas a través del MAG e incrementar el recorrido libre promedio de las partículas ionizadas, permitiendo que sean detectadas con precisión. Este libro presenta una revisión general del estado del arte en el campo de los dispositivos de microbombeo, específicamente aquellos enfocados en la generación de vacío, detallando a su vez el proceso de diseño de una microbomba de vacío capaz de alcanzar valores de presión absoluta menores a los 100 torr desde condiciones de presión atmosférica, lo cual comprende el dimensionamiento, análisis mecánico, modelado e integración multifísica de sus componentes en un entorno de simulación. Buscando brindar soporte teórico a estudiantes, profesionales e investigadores interesados en el desarrollo de microsistemas mecánicos.